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無塵室凈化工程的構造

 

無塵室凈化工程,亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎。沒有無塵室,污染敏感零件不可能批量生產。在 FED-STD-2里面,無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。

無塵室凈化工程的構成是由下列各項系統所組成(在所組成的系統分子中是缺一不可的),否則將無法構成一完整且品質良好的無塵室: 
⑴天花板系統 包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。 
⑵空調系統 包括空氣艙、過濾器系統、風車等。 
⑶隔墻板(Partitional wall) 包括窗戶、門。 
⑷地板 包括高架地板或防靜電地板、以及環氧自流平及滾涂地面。 
⑸照明器具 包括日光燈、黃色燈管等。
⑹無塵室之建筑主體構造 一般是用鋼筋或骨水泥,但無論是何種構造,必須滿足如下之條件: A.不會因溫度變化與振動而發生裂痕; 
B.不易產生微塵粒子,且很難附著粒子; 
C.吸濕性小; 
D.為了維持室內之濕度條件,熱絕緣性要高。



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